日本厂家 COSMOS 新宇宙 气体检测器 PS-7 固定式半导体材料气体检测
2024-09-10 09:22:47
admin
Cosmos型气体检测装置
PS-7
特征
具有感测器单元更换方法的固定式半导体材料气体检测单元
交付了经过校准的感测器单元,可以在现场更换,从而无需进行现场气体校准。
兼容NF 3检测
兼容于Modbus(RS-485/以太网络)(PS-7-M)*以太网络通信支持PoE
符合CE和SEMI标准
目的
用于半导体工厂的半导体材料气体泄漏检测
◆便携式(可更换感测器单元)半导体材料气体侦测单元为XPS-7II
◆便携式半导体材料气体侦测仪XP-703DIII
◆将信号布线无线化的无线转换器是WC-7L
规格
目标气体:半导体材料气体、氢气、氧气
检测原理:半导体材料气体:恒电位电解式氢气:热线式半导体式氧气:原电池式
抽气法:自动吸风式
检测范围:取决于规格
警报
[警报设定值]
取决于规格[警报方式]
红色LED灯闪烁LCD屏幕第一阶段:ALARM1第二阶段:ALARM1、ALARM2显示
尺寸:W62 x H124 x D143mm(不包括选件和突出部分)
重量:约1.0公斤
使用温度和湿度范围:0°C至40°C(无突变)、30至85%RH(无凝结)
使用电源:DC24V±10%
能量消耗:约7W
外部输出
・气体浓度模拟输出DC4-20mA(与负电源共享)
・气体警报接点(1级、2级)1a无电压接点/自动返回・故障警报接点(集电极开路/自动返回)
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