SIMCO思美高 离子发生器 Model 5225 AeroBar Model 5200-IM6T

离子发生器

面向超级清洁处理装置的模型

Model 5225 AeroBar

Model 5200-IM6T

特性

■在世界范围内拥有无与伦比的采用实绩的单晶硅电极与超低粒子特性一起避免电极材料引起的金属污染风险

■脉冲DC方式的大范围除电能力

■受全数字电路控制、更稳定的离子产生及长期离子平衡

■通过在除电目标附近设置5200-SR外部传感器（可选），能够反馈控制除电目标附近的离子平衡，而不是离子棒主体（5200-SR未连接时，内置离子棒主体传感器自动调整离子平衡）

■设置符合半导体前工序用EFEM长度的条

■离子产生输出、离子产生时间、警报阈值等各种参数可在广泛的范围内设定，可应对长距离用途和气流弱的环境等柔性

■只需输入数值即可获得高再现性，可在短时间内进行设置

■除了简单的警报IO之外，还可以利用免费提供的DLL进行实时监控，有助于对处理装置内的状态把握

规格

Model 5225 AeroBar

由输入电压24V AC、50/60Hz、1W Typ.IM6T供给。

通信形态RS485（IM6T～5225间）

输出电压0kv～约+/-20kv

输出形态脉冲DC模式、静态DC模式（可选择）

输出电流<15microA电流及电压限制电路内脏

连接连接器RJ11、4极4芯

离子发生定时最小0.1sec，最大10sec正负可分别设定

可更换电极单晶硅电极

臭氧产生量<0.005ppm（24小时累计测定）

对应清洁度ISO Class1,0.1micron

尺寸高度53mmx进深31mmx长度569mm（-22），721mm（-28），

907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),

1918mm（-76）及2144mm（-84）

重量-22:1.02kg每追加长度0.17kg/30厘米

外包装ABS树脂

Interface Module Model 5200-IM6T

输入电压24V DC+/-5%，1.5A

通信形态Ethernet、RS232C

警报输出继电器触点（仅限V4.0以上版本）

尺寸高度74mm×深度71mm×长度315mm

重量2kg